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进口板式高浓度臭氧发生器AbsoluteOzone Apex H30

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 加拿大Absolute Ozone Apex H30 臭氧发生器，适用于需要高浓度臭氧的实验室应用，ALD、PLD、MBE、CVD等；以及任何含臭氧的水处理应用，因为臭氧在高浓度下具有高溶解度。

Apex H30臭氧发生器是一款专为半导体和ALD（原子层沉积）应用设计的高效臭氧发生器。其主要特点包括：

高臭氧产量：仅需4 SLPM氧气即可产生30 g/h的臭氧，适合高浓度需求。

高臭氧浓度：臭氧浓度可达22 wt%（310 mg/L），满足半导体和ALD实验的高纯度要求。

低流量氧气需求：仅需4 SLPM氧气，节省气源成本。

耐压范围广：标准耐压15-35 PSI，可选高压15-85 PSI，适应多种实验条件。

模块化设计：支持台式或机架安装，可扩展至5 kg/h以上。

紧凑尺寸：体积小巧（35.5*38*17.8 cm），适合实验室空间有限的环境。

风冷设计：无需冷却水，在高温环境（+35℃）下也能稳定运行。

远程控制：支持远程臭氧输出控制，操作便捷。

特点

高纯度臭氧输出：该设备通常具备高精度的臭氧浓度控制，确保臭氧纯度，适合对气体纯度要求高的实验。

稳定性和可靠性：采用先进技术和高质量材料，确保长时间稳定运行，减少实验中断风险。

精确控制：具备精确的流量和浓度控制功能，满足ALD实验中对气体流量和浓度的严格要求。

低维护成本：设计上注重耐用性和易维护性，降低长期使用中的维护和更换成本。

安全性：配备多重安全保护机制，如过载保护、泄漏检测等，确保实验安全。

紧凑设计与易安装性：小巧尺寸和模块化设计适合空间有限的实验室环境。

风冷技术：无需冷却水，降低运行成本，适合长期使用。

技术支持与售后服务：北京同林提供完善的技术支持和售后服务，帮助用户解决使用中的问题。

适用场景

原子层沉积（ALD） ：作为高纯度臭氧前驱体源，提供稳定的氧化环境

化学气相沉积（CVD） ：高浓度臭氧辅助薄膜沉积

分子束外延（MBE） ：强氧化剂替代纯氧，降低生长温度

脉冲激光沉积（PLD） ：氧化物薄膜生长的臭氧源

高浓度臭氧水制备（配套臭氧水机可达50mg/L以上）

工业氧化反应与材料表面处理

相关型号

高浓度版 Apex H30

耐高压版 Prime P30

常见问题FAQ

Q1：22wt%是什么概念？

A：22wt%≈300g/Nm³≈140000ppm，是常规氧气源臭氧发生器浓度的10倍以上。换算关系：g/Nm³ → wt% ÷14.3；ppm → mg/Nm³ ×2.14。

Q2：Apex H30与国产高浓度臭氧发生器有什么区别？

A：Apex H30采用Absolute Ozone板式放电技术，浓度上限更高（22wt% vs 国产通常在7wt%左右），脉宽调制控制更精准，适合ALD/CVD等对浓度稳定性要求高的场景。

Q3：用于ALD时需要配套哪些设备？

A：典型配置包括：质量流量控制器（MFC）精确控制流量、臭氧浓度检测仪（推荐3S-J5000紫外吸收法）实时监测、耐腐蚀管路及接头、尾气分解装置。详细方案可咨询技术支持。

Q4：可以连续工作吗？

A：可以连续工作。风冷款建议在通风良好的环境中使用。

Q5：设备维修怎么处理？

A：同林科技为Absolute Ozone中国总代理，提供原厂配件和维修服务。

详细介绍

Absolute臭氧发生器成为北京同林臭氧专业实验站的新成员