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ALD PLD用高浓度臭氧发生器 Atlas H30

ALD PLD用高浓度臭氧发生器 Atlas H30

摘要

型号:Atlas H30 臭氧浓度:高达300mg/L。品牌:加拿大Absolute,适用于需要高浓度臭氧的实验室应用,及ALD、半导体、药物合成等应用。

更新时间:2025-03-05
来源:臭氧发生器
作者:同林科技
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进口板式高浓度臭氧发生器AbsoluteOzone Atlas H30

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 加拿大Absolute Ozone ATLAS H30 臭氧发生器,适用于需要高浓度臭氧的实验室应用,ALD、PLD、MBE、CVD等;以及任何含臭氧的水处理应用,因为臭氧在高浓度下具有高溶解度。

ATLAS H30臭氧发生器是一款专为半导体和ALD(原子层沉积)应用设计的高效臭氧发生器。其主要特点包括:

高臭氧产量:仅需4 SLPM氧气即可产生30 g/h的臭氧,适合高浓度需求。

高臭氧浓度:臭氧浓度可达22 wt%(310 mg/L),满足半导体和ALD实验的高纯度要求。

低流量氧气需求:仅需4 SLPM氧气,节省气源成本。

耐压范围广:标准耐压15-35 PSI,可选高压15-85 PSI,适应多种实验条件。

模块化设计:支持台式或机架安装,可扩展至5 kg/h以上。

紧凑尺寸:体积小巧(35.5*38*17.8 cm),适合实验室空间有限的环境。

风冷设计:无需冷却水,在高温环境(+35℃)下也能稳定运行。

远程控制:支持远程臭氧输出控制,操作便捷。

特点

高纯度臭氧输出:该设备通常具备高精度的臭氧浓度控制,确保臭氧纯度,适合对气体纯度要求高的实验。

稳定性和可靠性:采用先进技术和高质量材料,确保长时间稳定运行,减少实验中断风险。

精确控制:具备精确的流量和浓度控制功能,满足ALD实验中对气体流量和浓度的严格要求。

低维护成本:设计上注重耐用性和易维护性,降低长期使用中的维护和更换成本。

安全性:配备多重安全保护机制,如过载保护、泄漏检测等,确保实验安全。

紧凑设计与易安装性:小巧尺寸和模块化设计适合空间有限的实验室环境。

风冷技术:无需冷却水,降低运行成本,适合长期使用。

技术支持与售后服务:北京同林提供完善的技术支持和售后服务,帮助用户解决使用中的问题。

相关型号

NANO 15、ATLAS 30、ATLAS 30C、ATLAS H30、ATLAS 60、ATLAS 80、ATLAS 100、TITAN 30、TITAN 60、TITAN 80、TITAN 100、MAGNUM 160、MAGNUM 200、MAGNUM 120 LP、ATLAS 60 LP

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