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    臭氧作为氧化前体在ALD加工中的应用 随着纳米半导体工艺发展到原子水平,原子层沉积技术变得更有吸引力,并已经看到了一些应用。能够提供活性氧的前驱体是高k栅氧化沉积的关键

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    臭氧发生器出厂检验要求有哪些 臭氧发生器出厂检验要求有哪些呢?根据《 臭氧发生器安全与卫生标准 》要求如下: 1.臭氧发器中臭氧发生单元定位应准确,紧固、支撑、连接等部件应

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