臭氧产量：即臭氧的产率，以小时为单位臭氧的发生量。计量单位：mg/h 、g/h 、kg/h 。浓度×流量≈产量
臭氧浓度：单位体积内臭氧的含量。计量单位：mg/L ，mg/m3 ，ppm
水溶臭氧浓度：臭氧溶于水中，单位体积的臭氧含量。计量单位：mg/L 、ppm
空气应用臭氧浓度：用于空气消毒的臭氧浓度，一般在1-10 mg/m3 。
环境臭氧浓度：环境空气中所含有的臭氧浓度，环境质量标准规定的一二三级环境质量标准分别为0.12/0.16/0.2 mg/m3 。
电耗：不包含空气处理系统的情况下，臭氧发生器主机每产生1kg 臭氧的耗电量。（该单位为评价臭氧发生器性能的指标，不同于设备的功率）。计量单位：kwh/kgO3
投加量：一定单位的液体或气体所投加臭氧的量。计量单位：g/m3 、g/T
单位放电面积的产量：放电介质单位面积内所产生的臭氧量，该指标为评价放电介质性能的指标。计量单位：g/m3
露点：为空气干燥度的指标，空气在多少温度下开始出现结露现象。计量单位：℃。
进气流量：每小时进入臭氧发生器放电室中原料气体量。计量单位：m3 / h
出气流量：从发生器放电室中每小时排出臭氧化混合气体的流量。计量单位：m3 / h
进气压力：进入臭氧发生器放电室的原料气体的压力。计量单位：MPa
光化学产生臭氧法：利用紫外光使氧气分子分解并聚合生成臭氧的方法。
化学产生臭氧法：利用直流电源电解含氧电解质产生臭氧的方法。
电晕放电法：利用交变高压电场使含氧气体产生电晕放电，电晕中的高能自由电子离解氧分子并聚合生成臭氧分子的方法。
气隙放电法：电晕放电的一种，其放电区发生在介质层与高压电极或低压电极之间的区域。
沿面放电法：电晕放电的一种，其放电区域发生在高压电极边缘。
DTA 放电体：一搪瓷为主要电介质的臭氧放电体，具有产量高，浓度高的特点。
电极：与具有不同电导率的媒质形成导电交接面的导电部分，在臭氧发生单元中指分布高压电场的导电体。
介质管（板）：基本电磁场性能是受电场作用而极化的物质所构成的零部件，在臭氧发生单元中系指位于两极之间，造成稳定的辉光放电的绝缘体。
介质阻挡放电：在被介电体阻隔的电极和放电空间,施加并升高交流电压产生的气体放电现象。
介质强度：介质材料能承受而不致遭到破坏的很高电场强度。
臭氧发生单元：组成产生臭氧的很基本元件，如以电晕气隙放电的臭氧发生单元为高压电极、地电极、介质、气隙。
臭氧发生单元：产生臭氧的基本部件,由介电体与被其分隔的电极和放电空间组成。
臭氧发生室：由单组或多组臭氧发生单元组成的装置
臭氧发生器：氧气或空气通过介质阻挡放电方式产生臭氧所必需的装置。
臭氧系统：臭氧发生器、气源装置、接触反应装置等设备组合部分或全部。
标准状态：在温度T=273.15K（0℃），压力P=101.325kPa（标准大气压）时的气体状态。
臭氧：O3，由三个氧原子组成，是天然大气的微量组分，平均含量为0.1—0.01ppm，大部分集中在10~30km的平流层，对流层臭氧仅占10%。如果在零摄氏度下，沿垂直方向将大气中的臭氧全部压缩到一个大气压，其厚度大约只有3毫米，相当于两个5分钱硬币叠在一起那么厚。臭氧在地球大气中的化学起非常重要的作用，通过吸收太阳辐射维护地球的能量平衡和生态平衡。
臭氧层：Ozone Layer，大气平流层中集中大气中大部分臭氧的这一大气层。
臭氧层损耗：Ozone Depletion，臭氧层里的臭氧浓度处于动态平衡，保持一定的浓度，由于其它原因的影响导致臭氧层臭氧浓度减少的现象，叫臭氧层损耗。
南极臭氧洞：Ozone Hole，80年代观测发现，自每年9月份下旬开始，南极洲上空的臭氧总量迅速减少一半左右，极地上空臭氧层的中心地带，近90%臭氧被破坏，若从地面向上观测，高空臭氧层已极其稀薄，与周围相比象是形成了一个直径上千公里的洞，称为“臭氧洞”。
D.U.：Dobson Unit，将0℃，标准海平面压力下，10-5m厚的臭氧定义为1个Dobson。测量Dobson单位用的Dobson分光光度计曾被世界气象组织采用作标准测量仪器。“总臭氧”指臭氧柱的总厚度，描述柱密度的积分高度，以厘米(STP)表示。
TOMS：Total Ozone Mapping Spectrometer，装备在卫星上测量全球臭氧浓度的仪器
ODS：Ozone Depletion Substances，臭氧层损耗物质
ODP：Ozone Depletion Potential(臭氧损耗潜势)，表征某种物质造成臭氧损耗的潜在能力。ODP定义为单位质量物种引起的O3的损耗除以单位质量CFC-11引起的O3损耗。
GWP：Global Warming Potential，全球变暖潜势
CFC：(Chlorofluorocarbon)，含氯氟烃
UV-B：Ultraviolet-B，指波长在290~320nm之间的紫外线
UV-C：指波长在320-400nm之间的紫外线
UV-A：指波长小于290nm的紫外线
SOD：Stratospheric Ozone Depletion，平流层臭氧损耗
Freon：氟里昂，含氯氟烃的商品名
Halons：哈龙，含溴氟烷
絮凝：在化学领域，胶体是以絮状物或薄片形式悬浮出来的过程。该作用与沉淀的不同之处在于，在絮凝之前，胶体仅悬浮在液体中而实际上不溶于溶液中。在絮凝系统中，没有形成滤饼，因为所有絮凝物都在悬浮液中
抗微生物：一种杀死或抑制微生物[1]生长的物质，如细菌，真菌或原生动物。抗菌药物可以杀死微生物（杀微生物）或阻止微生物的生长（微生物抑制）。消毒剂是用于非生物体的抗菌物质。
电晕放电方式：对于大多数工业和个人用途，这是很流行的臭氧发生器类型。虽然存在臭氧生产的“热火花”日冕放电方法的变化，包括医疗级和工业级臭氧发生器，但这些单元通常通过电晕放电管工作。[42] 它们通常非常具有成本效益，并且不需要除环境空气之外的氧气源。然而，它们也产生氮氧化物作为副产物。使用空气干燥器可以通过去除水蒸气和增加臭氧产生来减少或消除硝酸的形成。使用氧气浓缩器可以进一步增加臭氧产生并且通过不仅除去水蒸气而且还除去大部分氮气来进一步降低硝酸盐形成的风险。
紫外光线：紫外线臭氧发生器或真空紫外线（VUV）臭氧发生器采用产生窄带紫外线的光源，这是太阳产生的一部分。太阳的紫外线维持着地球平流层的臭氧层。 虽然标准的UV臭氧发生器往往较便宜，但[需要澄清]它们通常产生浓度约为0.5％或更低的臭氧。该方法的另一个缺点是它需要将空气（氧气）暴露于UV源较长时间，并且不会处理任何未暴露于UV源的气体。这使得UV发生器在处理快速移动的空气或水流（例如，管道内空气消毒）的情况下使用是不实际的。臭氧的产生是紫外线杀菌辐射的潜在危险之一。VUV臭氧发生器用于游泳池和水疗应用，范围为数百万加仑的水。与电晕放电发生器不同，VUV臭氧发生器不产生有害的氮副产物，也不像电晕放电系统，VUV臭氧发生器在潮湿空气环境中工作得非常好。通常也不需要昂贵的废气机构，也不需要需要额外成本和维护的空气干燥器或氧气浓缩器。
冷等离子体：在冷等离子体方法中，纯氧气暴露于由介质阻挡放电产生的等离子体。双原子氧被分裂成单个原子，然后在三重态中重新组合以形成臭氧。 冷等离子机利用纯氧作为输入源，产生约5％臭氧的很大浓度。与紫外线产生相比，它们在给定的时间内产生更多的臭氧。然而，由于冷等离子体臭氧发生器非常昂贵，因此发现它们比前两种类型更少。 放电表现为两个电极之间的间隙中的电子（微放电）的丝状转移。为了均匀分布微放电，必须使用介电绝缘体来分离金属电极并防止电弧放电。 一些冷等离子体单元还具有产生短寿命氧同素异形体的能力，包括O4，O5，O6，O7等。